新着情報一覧
2015.10.04
PRODUCTRONICA innovation award 2015に出展予定。
日程：2015年11月10日（火）～13日（金） 開催場所：MUNICH MESSE（ドイツ、ミュンヘン）
2015.08.03
応用物理学会（JSAP EXPO Autumn 2015）に出展予定。
日時：2015年9月13日（日）～9月16日（水） 場所：名古屋国際会議場 愛知県名古屋市熱田区熱田西町1番1号 ・真空・プロセスガス対応 高速アニール加熱装置（モデル RTP-150） ・ギ酸還元対応 卓上型真空はんだリフロー装置（モデル RSS-450-210）
2015.08.03
IEEE International 3D System Integration Conference 2015に出展予定。
日時：2015年8月31日（月）～9月2日（水） 場所：仙台国際センター会議棟 宮城県仙台市青葉区青葉山無番地 （東北大学 青葉山キャンパス内）
2015.05.23
JISSO PROTEC（JPCA Show）2015に出展予定。
日程：2015年6月3日（水）～6月5日（金） 時間：10:00～17:00 開催場所：東京ビッグサイト 東ホール 弊社ブース：東4ホール 4E-22
2015.01.11
インライン対応型 高速アニール加熱炉 VPO-1000-300
タッチパネル式 トップローディング方式を採用した、真空プロセス高速加熱炉 Φ300 mm（12インチ）ウエハー対応
2015.01.11
フロントローディング型 高速アニール炉 RTPシリーズのページを更新しました。
タッチパネル式 Φ6インチ対応真空・プロセスガス高速アニール加熱システム。RTP-150タッチパネル式 Φ4インチ対応真空・プロセスガス高速アニール加熱システム RTP-100